我科研人員為氧化鎵晶體管找到新結(jié)構(gòu)方案
2023-02-27 07:12:23 | 來源:云財(cái)經(jīng) |
(資料圖)
26日從中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)獲悉，該校微電子學(xué)院龍世兵教授課題組聯(lián)合中科院蘇州納米所加工平臺，分別采用氧氣氛圍退火和氮離子注入技術(shù)，首次研制出了氧化鎵垂直槽柵場效應(yīng)晶體管。相關(guān)研究成果日前分別在線發(fā)表于《應(yīng)用物理通信》《IEEE電子設(shè)備通信》上。(科技日報(bào))
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